¼ÒµðÇÁ½Å¼ÒÀç´Â ¹ÝµµÃ¼ ¹× LCD°øÁ¤¿¡¼ ÇʼöÀûÀ¸·Î »ç¿ëµÇ´Â »ïºÒÈÁú¼Ò(NF3), ¸ð³ë½Ç¶õ(SiH4), À°ºÒÈÅÖ½ºÅÙ(WF6) µî ÀüÀÚÈÇкоßÀÇ ±¹³» À¯ÀÏÀÇ Æ¯¼ö°¡½º¼ÒÀç±â¼úÀ» º¸À¯Çϰí ÀÖ´Â ±â¾÷ÀÌ´Ù. ÀÌµé ½Å¼ÒÀç´Â ¹ÝµµÃ¼ ¹× LCD»ê¾÷°ú µ¿¹Ý ¼ºÀåÇÏ´Â »ç¾÷À¸·Î ¸Å³â 25%ÀÌ»ó ²ÙÁØÇÑ ¼ºÀå¼¼¸¦ À¯ÁöÇϰí ÀÖ´Ù.